Alicat质量流量控制器助力MDC XpressStick气体输送模块

气体输送模块得益于Alicat的MCE系列真空气体质量流量控制器的高精度流量控制

Alicat MCE系列真空气体质量流量控制器已经集成到MDC的真空产品XpressStick™MFC气体棒中。Alicat  MCE系列真空气体质量流量控制器可以精确控制高达20SLPM的气体流量,为气体输送模块提供气体编译功能,将压力气体输入到真空室。
Alicat MCE系列真空气体质量流量控制器精确控制气体流量低至0-0.5 sccm全刻度或高至0-20 slpm全刻度。通过20到50毫秒的控制响应时间来改变设定值,MCE系列真空气体质量流量控制可以改善真空镀膜终端产品。

XpressStick MFC气体棒的一体化设计消除了复杂的硬件规格。专为超高纯度的工艺要求,XpressStick也提供用于腐蚀性环境的不锈钢模型。
随着MCE系列真空气体质量流量控制器的零预热时间,XpressStick可以在一秒钟内控制工艺流程,实时检测质量流量、体积流量、绝对压力和温度,完全补偿外界温度和压力的影响。气体模块直接通过MCE系列真空气体质量流量控制器的集成显示进行编译,使用车载气体校准可以轻松地更改气体类型。
MDC技术副总裁James Moore说:“在为我们的XpressStick选择质量流量控制器时,快速响应时间、准确性和可靠性都是关键的标准。根据Alicat的经验,我们知道他们可以满足这些要求。”
Alicat质量流量控制器、压力控制器在世界各地的真空镀工艺中广泛应用。

艾里卡特Alicat提供先进的质量流量计质量流量控制器压力控制器压力传感器解决方案。

更多产品信息和资讯,欢迎浏览知识库行业应用新闻博客

如需查看或下载产品说明书,请点击Alicat文件中心

WordPress Video Lightbox Plugin