316L不锈钢耐腐蚀系列质量流量计与质量流量控制器

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316L不锈钢耐腐蚀系列质量流量计与质量流量控制器

艾里卡特耐腐蚀质量流量计与质量流量控制器艾里卡特耐腐蚀质量流量计与质量流量控制器采用316L不锈钢结构以抵挡NH3、H2S、SiH4等腐蚀性气体, 可测量与控制的量程范围:0~0.5 sccm 至 0~3000 slpm。

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