絮凝剂:用于真空沉积的MCV

Alicat的MCV系列真空气体质量流量控制器专为质量流量控制器下游具有强真空压力的应用而设计，如真空沉积。MCV系列真空气体质量流量控制器流体内的内部下游比例控制阀与连接到流体内下游一侧的第二气动正切断阀相结合。第二种阀门可以实现1 x 10e-9 atm scc / s (He)的紧密关闭，这对于真空镀膜或溅射等应用非常关键。Alicat MCV系列真空气体质量流量控制器的全尺寸范围可达20slpm。
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艾里卡特Alicat提供先进的质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器解决方案。

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