用于真空沉积应用的MCV系列质量流量控制器

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MCV系列:用于高真空应用的质量流量控制器艾里卡特MCV高真空质量流量控制器

艾里卡特设计MCV系列质量流量控制器设计用于高真空应用,自带集成式气动截止阀,有效杜绝设定值为零时气体进入真空腔体,最大量程:0-20 slpm,并有316L不锈钢结构的耐腐蚀系列(MCVS)可选。

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