Alicat质量流量控制器助力MDC XpressStick气体输送模块
气体输送模块得益于Alicat的MCE系列真空气体质量流量控制器的高精度流量控制 Alicat MCE系列真空气体质量流量控制器已经集成到MDC的真空产品XpressStick™MFC气体棒中。Alicat MCE系列真空气体质量流量控制器可以精确控制高达20SLPM的气体流量，为气体输送模块提供气体编译功能，将压力气体输入到真空室。 Alicat MCE系列真空气体质量流量控制器精确控制气体流量低至0-0.5 sccm全刻度或高至0-20 slpm全刻度。通过20到50毫秒的控制响应时间来改变设定值，MCE系列真空气体质量流量控制可以改善真空镀膜终端产品。 XpressStick MFC气体棒的一体化设计消除了复杂的硬件规格。专为超高纯度的工艺要求，XpressStick也提供用于腐蚀性环境的不锈钢模型。 随着MCE系列真空气体质量流量控制器的零预热时间，XpressStick可以在一秒钟内控制工艺流程，实时检测质量流量、体积流量、绝对压力和温度，完全补偿外界温度和压力的影响。气体模块直接通过MCE系列真空气体质量流量控制器的集成显示进行编译，使用车载气体校准可以轻松地更改气体类型。 MDC技术副总裁James Moore说：“在为我们的XpressStick选择质量流量控制器时，快速响应时间、准确性和可靠性都是关键的标准。根据Alicat的经验，我们知道他们可以满足这些要求。” Alicat质量流量控制器、压力控制器在世界各地的真空镀工艺中广泛应用。 艾里卡特Alicat提供先进的质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器解决方案。 更多产品信息和资讯，欢迎浏览知识库、行业应用和新闻博客。 如需查看或下载产品说明书，请点击Alicat文件中心。