Year: 2016

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Dec 27 2016

改进的过程气体控制优化反应溅射
流量控制器中定制的阀门响应算法产生更好的薄膜，可以更好地控制目标的过渡状态。反应溅射反应溅射是一种物理气相沉积工艺，用于真空镀膜。该工艺通过将反应气体(如O2或N2)引入惰性气体(如氩气)产生的等离子体中，在基板上沉积复合材料涂层。活性气体被等离子体激活，然后与“目标”(通常由金属、合金或陶瓷组成)发生化学反应，生成沉积在基材上的涂层材料。所得到的氧化物、氮化物或碳化物涂层赋予涂层低发射率、耐久性等特点。反应溅射沉积是制造和研发常用的方法，例如：电视和手机的平板显示器太阳能电池上的光伏涂层太阳镜上的光学涂层五金和汽车零部件的装饰涂料建筑玻璃隔热涂料 Alicat气体质量流量控制器与常见的活性气体兼容。这些气体以及一些典型的化合物: 氧(O2) -生成诸如Al2O3、SiO2、TiO2、ITO(铟锡氧化物)等氧化物氮(N2)产生氮化物，如锡，ZrN, CrN 乙炔(C2H2)或甲烷(CH4) -用于类金刚石薄膜控制溅射过程通过控制反应气体流量和时间，可以在一定程度上调整沉积速率和薄膜性能。使用流量控制不需要主动反馈，但与闭环控制相比，沉积速率较低，薄膜性能可能会较低。与流量控制相比，分压闭环控制提供了更高的沉积速率，改善了薄膜性能。但是闭环控制需要主动反馈控制，增加了工艺的复杂性和成本。同样重要的是，闭环控制系统对反馈做出快速而准确的响应，以确保良好的涂层。由于反应是电化学的，可能在目标暴露于气体或基板暴露于等离子体云的毫秒内发生，因此控制要求非常严格。闭环控制系统通过反馈信号实时测量工艺条件。常用的反馈信号包括: 目标电压等离子体的光学发射，通常称为等离子体发射监测或PEM 反应气体的分压，用残余气体分析仪或RGA测量避免目标中毒决定沉积质量的另一个重要变量是溅射过程中目标的状态。增加的活性气体流量，加速了化学反应，但也会引起“目标中毒”。当目标中毒发生时，沉积速率降低，真空和电压水平的不良变化，都会对目标和基质造成损害。闭环控制系统可以维持目标的“过渡”状态，避免中毒。闭环控制也比流量控制涂层更灵活，允许多气体和多区域的过程控制。Alicat 质量流量控制器为涂层专家提供现场可调的PID，以达到任何质量流量控制器极快的响应速度，改善工艺稳定性和涂层室条件。PID和PDF+算法通过改变响应控制命令的速率和方式来优化控制。有多种PID算法，允许用户对任何过程控制信号产生优秀的流量控制响应。 Alicat 质量流量控制器与现有溅射工具上的机械和电气连接兼容，通常用于升级或更新过程控制。有许多数字和模拟接口，包括RS-232和RS-485。它们可以与诸如DeviceNet和EtherNet/IP之类的协议相结合。 Alicat质量流量控制器包括Gas Select™功能。有了它，您可以轻松地切换气体，而无需进行K系数计算或其他补偿，因为每个质量流量控制器都包含一个气体特性数据库，涵盖整个工作压力和温度范围。结合气体选择和扩大的200:1控制范围，客户大大减少了不同质量流量控制器的数量，以满足反应溅射的需要。艾里卡特Alicat提供先进的质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器解决方案。更多产品信息和资讯，欢迎浏览知识库、行业应用和新闻博客。如需查看或下载产品说明书，请点击Alicat文件中心。
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Dec 15 2016

选错气体该怎么办
质量流量和体积流量都取决于气体的粘度。如果所选择的气体与流经装置的气体不同，则流速将与粘度之比大致相等。简单地将你的读数乘以所选气体的粘度与所需气体的粘度之比。 About Gas Select With Gas Select and COMPOSER, you need never have to do the calculations in this FAQ answer. They are more accurate than you are likely to be using this solution, since the instrument is equipped to measure temperature and pressure and account for their effects. Gas Select is a feature built […]
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Dec 14 2016

Alicat将以太网/IP和DeviceNet添加到质量流量计和质量流量控制器
工业自动化协议将质量流量和压力仪表集成到工艺方案中 Alicat已经扩展了它的通信协议产品，增加了以太网/IP和DeviceNet作为其质量流量、压力和液体仪表生产线的选项。新的工业自动化协议允许Alicat仪器与运行以太网/IP或DeviceNet的plc集成。实时数据——包括质量流量、体积流量、压力、温度、选定的气体校准、设定值和气体总流量——可由PLC集中读取，用于管理Alicat控制器和仪表。用户可以通过设备网或启用以太网/IP的PLC或计算机来更改设定值或气体选择，并向Alicat仪器发出其他命令。响应时间低至100毫秒，Alicat控制器可以快速、精确地监测和控制化工、医疗、制造和电力行业的关键工艺参数。除了新的以太网/IP和DeviceNet协议之外，Alicat还提供了Modbus-RTU和PROFIBUS通信选项。用户还可以选择Alicat的标准多点RS-232连接或可选的RS-485，以获得更大的数据完整性。所有Alicat仪器都有NIST-traceable校准，全面的技术支持和终身保修. 艾里卡特Alicat提供先进的质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器解决方案。更多产品信息和资讯，欢迎浏览知识库、行业应用和新闻博客。如需查看或下载产品说明书，请点击Alicat文件中心。
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Dec 08 2016

Alicat为OEM用户定制电子压力控制器
EPC系列提供响应式液体或气体压力控制，量身定做的应用需求 Alicat增加了两个新的OEM电子压力控制器，专门用于大批量的原始设备制造。EPC系列OEM电子压力控制器有单比例阀，EPCD系列OEM电子压力控制器的双阀门，在嵌入式系统中提供定制的压力控制。小型足迹仪器能够快速响应上游的波动，在经济的、易于集成的软件包中提供快速、准确的压力控制。Alicat提供符合客户规格的阀门、阀孔和工艺连接。在OEM气相色谱仪、流式细胞仪的液体分配以及任何需要响应压力控制的地方，EPC系列和EPCD系列OEM电子压力控制器是理想的选择。 EPC系列和EPCD系列对上游压力波动具有100ms的实时控制响应。NIST-可跟踪的精度为0.25%。EPC系列的单比例阀在流动应用中提供稳定的压力控制，例如在气相色谱仪中保持载气通过样品注入点的流动。EPCD系列的特点是有第二个阀门，可以有效地控制密闭空间内的压力，例如控制分配液体上方的压头空间。 Alicat提供NPT、SAE、downport和NeSSi工艺连接。数字通信(RS-232, RS-485, Modbus)和模拟通信(0-5v, 0-10v, 4-20mA)都适用于各种终端客户产品。阀门类型和孔板的选择允许配置到特定的流量要求，以获得更佳的速度和稳定性。艾里卡特Alicat提供先进的质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器解决方案。更多产品信息和资讯，欢迎浏览知识库、行业应用和新闻博客。如需查看或下载产品说明书，请点击Alicat文件中心。
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Dec 08 2016

在你的网络系统中集成一个快速的流量控制器
以太网/IP和DeviceNet现在可用于质量流量控制器、质量流量计和压力控制器还有什么比拥有快速高效且个性化的实验室质量流量或压力控制设备更酷的呢? 你有没有想过，“把那个婴儿连成一个工业流程!”你知道我们的想法，因为我们也知道!…这是如此令人毛骨悚然! 通过添加以太网/IP或DeviceNet协议，将流量和压力控制器或仪表连接到工业i/o系统比以往任何时候都更容易。这使得Alicats的可用协议列表增加到四个：网络通讯协议现场总线以太网/ IP 设备网新的协议可用于我们的质量流量控制器，系列质量流量计，压力控制器产品，以及他们的版本在不锈钢，液体，高压，高流量，双阀，耳语低压降，等等。要在Alicat设备上获得协议，只需在订购时请求该选项即可。这些协议不能作为改造使用。请访问我们的产品选项页面，以查找有关可用协议的附加信息。或者问问我们的应用工程师。他们喜欢解决问题。艾里卡特Alicat提供先进的质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器解决方案。更多产品信息和资讯，欢迎浏览知识库、行业应用和新闻博客。如需查看或下载产品说明书，请点击Alicat文件中心。
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Dec 07 2016

为什么可变面积流量计与Alicat不匹配?
转子流量计是一种可变面积流量计(VAF)。它提供了一种流量测量方法，通过使用流体的压力将一个球漂浮在锥形管中，并提供在标准流体、温度和压力环境下的气体或液体质量流量测量。使用转子流量计时，必须选择特定的气体、标准温度和压力，用于专门校准。如果有一个参数在实际操作条件下偏离了这些规范，将影响测量精度。转子流量计不会自动调整读数，而且对任何变化的情况几乎都是盲目的。即使转子流量计标有“标准”流量(例如“标准立方英尺/分钟”)，您也必须记住，测量线之间的距离是固定的，如果您的操作条件偏离STP(或运行的是另一种气体)，则刻度不会调整。你不再测量SCFM了。相比之下，Alicat质量流量计是一种多参数设备，可以在读取过程压力和温度条件的同时，提供流量读数。因为Alicat测量所有的变量，所以它能够实时调整以适应操作条件的变化。同时使用转子流量计和Alicat质量流量计的客户经常会问：如何使用Alicat质量流量计校准转子流量计。在寻找这两种不同类型的流量计之间的相关性时，我们会想到“comparing apples to oranges”这句美国谚语。虽然目的相似，但它们是不同的技术，使用不同的基本条件假设进行测量。转子流量计内的条件必须控制在它所适用的校准条件下，以便在相关性上收敛。在校准实验室，该技术将使指定的气体流动，使测试台达到适当的温度，并利用压力控制系统使转子流量计处于STP状态。一旦转子流量计处于STP环境中，就可以校准转子流量计。没有校准实验室，如何校准转子流量计温度对流量读数有一定的影响，但压力的变化，无论是由工艺条件、气压或海拔差引起的，都会有较大的影响(除非温度变化很大)。试着调整内部温度和压力以适应转子流量计的STP。这需要一些传感器。在现场，你可以使用一个Alicat质量流量计，尽可能接近转子流量计，给你一些读数。如果内部压力可以在转子流量计内控制，以匹配固定的STP值，那么就有理由对Alicat和VAF进行合理的比较。确保转子流量计流出到预定的压力。在这个例子中，我们假设排气压力是30 PSIA。然后，在转子流量计的内联和下游配置阀门上安装一个Alicat质量流量控制器。将其设置为“闭环压力”控制模式。如果范围和气体允许，使用Alicat Whisper系列设备，Whisper系列设备引起的压损不影响转子流量计。确保Alicat质量流量计的气体选择和STP设置与转子流量计相同。设置一个背压控制点，使之等于转子流量计校准的排气压力，假设为30 PSIA。这意味着Alicat质量流量计控制着转子流量计中最重要的条件，即压力。艾里卡特Alicat提供先进的质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器解决方案。更多产品信息和资讯，欢迎浏览知识库、行业应用和新闻博客。如需查看或下载产品说明书，请点击Alicat文件中心。
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Nov 01 2016

气体混合和稀释应用的挑战
气体混合是一门有挑战的科学，即使你认为你已经看到了一切。合适的设备有助于理解混合系统中每个组件的角色，以及改进工艺流程。如果混合装置低于需求标准，产品最终会受到影响。这里有一些可能出现的挑战和建议，可以帮助您的气体混合过程。气体供应许多加工商在现场混合气体，因为从气体供应商那里购买定制的混合气体可能很贵。提供纯气体可以降低成本，同时允许用户根据不同的最终结果调整成分的浓度。此外，当客户购买混合气体时，它通常会被放入一个特殊的容器中，不能丢弃，甚至不能退还给气体供应商。你打算把这些空瓶子放在哪儿?如果瓶子闲置一段时间，气体就会分层，这样，密度大的气体就会沉淀在瓶底，密度小的气体就会沉淀在瓶顶。使用纯气体供应意味着在使用之前，你不必在实验室的地板上滚动气瓶。 Alicat质量流量控制器，可以快速、准确地控制你的气体混合物。如果你需要测量混合物，无论是预混合还是现场混合，混合气体的配方可以通过Alicat上的编译器固件设置到质量流量控制器中。控制混合在一个动态系统中，你的混合物可能不总是75%气体1 + 25%气体2。如果你的混合物第二天变成25%气体1 + 75%气体2，第二天变成50%气体2 + 50%气体3，你会怎么做?在为混合设置选择质量流量控制器时，仔细考虑潜在的混合过程是非常重要的。Alicat质量流量控制器校准了98种气体(防腐蚀S系列的128种气体)，可以随时更改。200:1的调节比意味着每个质量流量控制器都有更大的流量范围。这些特性将减少所需的质量流量控制器的数量。在气流得到控制后，气流中的气体需要适当混合。如果你负担不起在管道中布置一束直角，建议使用静态混合管。直角和混合管引起湍流以产生均匀的混合物，并且可以安装在流量控制器的下游。许多混合系统有一个分析仪，将提供实时更新的混合物。如果混合物不正确，分析仪就会触发一个灯光或喇叭报警，这样技术人员就会获知混合物不符合规格。如果你知道流动的是哪种气体，分析仪是可行的选择，因为它们通常针对一种特定气体进行校准。否则，如果你负担得起的话，质谱仪可以测定气体样品中的一切。压力反馈在一些实时混合应用中，连续压力非常重要。例如，在焊接中，保护气体的压力损失可能导致焊接不良，因为保护气体是保护焊缝免受大气影响的。压力反馈系统，包括压力控制器、压力计或使用Alicat质量流量控制器上的压力控制回路，将根据压力读数相应地增加或减少流量。软件虽然有足够的来源，精确的质量流量控制和良好的压力传感将提供一个系统，提供准确和快速的气体输送，你可能需要一些东西来控制所有的元素在一起。在大多数情况下，在混合站点的软件程序员会写一些东西来整合所有的东西。Alicat有两个选项可以简化这个任务。例如，气体混合软件Flow Vision MX，可以与多达10个Alicat质量流量控制器一起控制混合过程。如果该设备包含了其他与Flow Vision MX不兼容的设备，LabVIEW驱动程序，可以将Alicat设备集成到LabVIEW接口中来控制混合系统。艾里卡特Alicat提供先进的质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器解决方案。更多产品信息和资讯，欢迎浏览知识库、行业应用和新闻博客。如需查看或下载产品说明书，请点击Alicat文件中心。
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Oct 30 2016

多气体校准的准确度如何
当你在同一流量计中从一种气体切换到另一种气体，新的气体测量是否和原来的气体一样准确?作为拥有20多年多气体流量校准经验的行业先锋，Alicat经常被问到这个问题。为什么在Alicat质量流量计上改变气体时，精度不会发生变化？非理想气体定律综述 Alicat的层流差压式质量流量计通过测量层流元件(LFE)上的压降来确定流量。更高的流速会相应地产生更高的压降。当我们观察真实世界的气体变化时，情况就变得更加复杂了。根据泊肃叶定律，在给定的层流条件下，流体的压降与流体的绝对粘度成正比。例如，蜂蜜比水更粘稠，所以它比水有更大的流动阻力，并在相同的流速下产生更高的压降。什么影响流体粘度?每一种流体，无论是气体还是液体，都有其固有的绝对粘度。这说明它们在分子水平上的相互作用。粘度与分子量无关。氢和氦的分子量都比空气小得多，但氢的粘度只有空气的一半，流动更容易，而氦的粘度比空气略高。粘度也随温度而增加，但随压力而减少。对于气体，绝对粘度随绝对温度的平方根而变化。另一方面，压力对粘度的影响很小，25°C时空气的粘度仅增加0.8%，从1bar增加到10bar。另一个复杂的问题是气体压缩系数(z)，这是一种测量气体行为与理想气体定律(PV=nRT)的偏离程度的方法。假设z值为1表示理想气体行为，通常，具有更复杂分子的气体表现出更低的可压缩性因子(非理想气体方程PV=znRT中的z)，这也表明这些气体的密度更大。当管线压力增加或温度降低时，可压缩性对流量读数的影响更大。密切关注所有这些变量需要一些先进的流量测量技术。 Alicat改变气体的方法确保了当气体介质发生变化时，流量控制和测量过程不会出现任何精度损失。 Alicat的气体选择:不允许k因子如果你用过热式质量流量控制器，你可能熟悉k因子。假设你的质量流量控制器是用氮气校准的，但你想用它来测量氩气的流量。你可以在制造商的k因子图表中找到氩气，然后将这个转换因子与氮校准的流量读数相乘，得到氩的等效流量读数。根据您的精度要求和操作条件，这可能是一个合适的方法。但是，如果您你希望得到更高的准确性，那么您可能会失望。用来运行热式质量流量控制器的气体的热特性也高度依赖于压力和温度，就像粘度和压缩性一样。如果您的操作压力或温度与k因子图表中定义的有显著差异，则k因子无法提供准确的流量校正。因此，许多热式质量流量计的制造商在使用k因子时提供了不太严格的精度规范。认识到单点k因子不能解释这些变化的温度和压力条件，Alicat使用了一种与之不同的方法。当您进入Alicat质量流量控制器的气体选择菜单，从空气切换到氩气时，Alicat用氩气数据代替空气校准数据，使用从氩气的非理想气体特性的三维气体特性数据导出的数学函数。该数据表绘制了从Refprop 9中获得的可压缩性、粘度、压力和温度的NIST-可追溯的气体特性数据，涵盖了Alicat质量流量控制器的整个可用范围。然后数据被存储为Alicat质量流量控制器上的一个唯一函数。这意味着这意味着Alicat质量流量控制器在2 bar和23℃时与在6 bar和37℃时访问不同的数据点。质量流量控制器自身的传感器每秒一千次报告压力和温度的变化，因此Alicat总是在校准面上引用正确的点。由三维气体特性数据导出的独特功能，结合压力和温度的实时传感，当你在Alicat质量流量计上改变气体时，你的精度不会发生变化。最近，一家独立的校准机构进行的测试显示，当使用空气校准的Alicat质量流量控制器测量12% CO2 + 7% O2 + 81% N2的NIST可追溯校准气体混合物时，总误差仅为读数的0.15%。艾里卡特Alicat提供先进的质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器解决方案。更多产品信息和资讯，欢迎浏览知识库、行业应用和新闻博客。如需查看或下载产品说明书，请点击Alicat文件中心。
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Oct 13 2016

精确的质量流量控制器改善真空镀膜
Alicat MCE和MCV系列真空气体质量流量控制器确保真空室中更佳的涂层环境，保持涂层和溅射过程中产品的完整性。MCE和MCV系列真空气体质量流量控制器可用于取代传统的工业质量流量控制器。这两个系列的质量流量控制器与一般的工业质量流量控制器具有相同的适用空间，易于集成到现有系统中。在使用中，它们提供快速、准确的过程控制，以实现过程的匀称性和质量。 Alicat MCE和MCV系列真空气体质量流量控制器精确控制气体流量，低至0-0.5 sccm，高至0-20 slpm，控制响应时间为50 – 100毫秒。快速反应时间可以大大提高真空镀膜的质量，有助于消除目标物中毒。集成气动切断阀为常闭式，提供最大氦气流量为1 x 10-9 atm sccm/sec的正切断。 MCE系列真空气体质量流量控制器可以用来替代传统型号MKS 1179A Mass-Flo®，而MCV系列真空气体质量流量控制器可以替代已经停产的型号MKS 2179A Mass-Flo®。Alicat质量流量控制器运行在通用12-30 VDC电源上，Alicat将匹配9针或15针D-sub连接器上的任何现有引脚，便于更换。单元可以安装在任何方向，甚至颠倒，无需重新校准，进一步简化安装。 MCE和MCV系列真空气体质量流量控制器测量98种气体的质量流量、体积流量、绝对压力和温度，并进行全温度和压力补偿。单元可以直接通过仪表键盘进行编程，也可以通过RS-232 (RS-485也可以)进行远程编程。 MCE和MCV系列真空气体质量流量控制器采用了层流差压(DP)技术，该技术在许多Alicat流量设备中都有，并提供NIST可追溯认证，并带有CE标志。艾里卡特Alicat提供先进的质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器解决方案。更多产品信息和资讯，欢迎浏览知识库、行业应用和新闻博客。如需查看或下载产品说明书，请点击Alicat文件中心。
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Oct 05 2016

使用质量流量控制器的压力控制回路进行更快的泄漏检查
压力衰减测试需要一段时间，等待时间是浪费时间。在这个视频中,我们将演示Alicat的质量流量控制器同时控制压力测试设备,和监控sμlm泄漏率低至2.5。一旦你的系统达到目标压力，结果就是泄漏率的即时量化。你也不需要做大量的数学计算来找到平均泄漏率——你将知道在任何你想要测试的压力下的泄漏率。这里有一些优化这个测试的想法: 对于较大容量的测试，可以使用旁路填充阀快速对DUT加压，减少测试之间的等待时间。一个集成的放气阀可以配置到质量流量控制器中，用于测试非泄漏部件…或者你可以在你的设置中包括一个放气阀，如视频所示。采用MCW系列低压损气体质量流量控制器将减少稳定时间，并确保实时读数的准确性。我们有测量泄漏的其他配置，包括那些在我们的应用页面中描述的文件: 更快的泄漏检查高效氦检漏艾里卡特Alicat提供先进的质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器解决方案。更多产品信息和资讯，欢迎浏览知识库、行业应用和新闻博客。如需查看或下载产品说明书，请点击Alicat文件中心。
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